激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領(lǐng)域應用普遍。激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態(tài)特性分析,驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析,導軌的動態(tài)特性分析等,具有極高的精度和效率,為機床誤差修正提供依據(jù)。激光干涉儀的應用:幾何精度檢測??蒲虚_發(fā)激光干涉儀廠家直銷
激光干涉儀初步調(diào)整后,它的固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調(diào)整精確瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調(diào)整“整體”,再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續(xù)調(diào)整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程,往往幾次即可達到準直要求。浙江數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀供應商激光干涉儀的測量精度高:以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵。
數(shù)控機床的傳動機構(gòu)一般是滾珠絲桿副,滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差,且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降,當前為有效且普遍應用的方法是利用激光干涉儀對數(shù)控機床進行螺距誤差補償。數(shù)控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償(值)與記憶式螺距誤差補償(增量值)兩種,三菱和法那科系統(tǒng)就是增量值補償?shù)谋硎局弧.敳捎眉す飧缮鎯x進行增量值補償時,會遇到數(shù)據(jù)怎么對應補償點位置的問題。機床系統(tǒng)種類繁多,正逐步向自動補償邁進。
激光干涉儀組件:要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù),需要使用激光測量系統(tǒng)的以下組件,主要有:XL激光頭、三腳架和云臺、XC環(huán)境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。激光干涉儀工作原理多普勒效應(DopplerEffect):任何形式的波傳播,都是由于波源、傳播介質(zhì)或中間反射器的運動,會使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移(DopplerShift),其頻移大小與介質(zhì)、波源和觀察物的運動有關(guān)。激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義。
激光干涉儀的使用方法:透鏡面形檢測:調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測,自己加工固定的沉座)放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合,觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋,條紋越少精度越高。此外,干涉圖像與對準系統(tǒng)同步,無需切換,任何人都能簡單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸,可簡便的測量出曲率半徑。透鏡曲率半徑檢測:開啟標尺電源開關(guān)(清零),調(diào)整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條),凸透鏡向上調(diào)節(jié)高度(凹透鏡向下調(diào)節(jié)高度)到第2個星點出現(xiàn)的時候調(diào)節(jié)標準鏡頭調(diào)節(jié)旋鈕,使圖像出現(xiàn)貓眼像,標尺移動的數(shù)值就為被測透鏡的曲率半徑??蛇M行滾珠絲桿的動態(tài)特性分析。深圳工業(yè)激光干涉儀設備廠家
激光干涉儀的維護:儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)。科研開發(fā)激光干涉儀廠家直銷
激光干涉儀原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。科研開發(fā)激光干涉儀廠家直銷