激光干涉儀的應(yīng)用:數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償現(xiàn)在,利用激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量,其精度達(dá)±1。新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。雙軸定位精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床,由雙伺服驅(qū)動(dòng)某一軸向運(yùn)動(dòng)的定位精度,而且還能通過(guò)RS232接口,自動(dòng)對(duì)兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。激光干涉儀的應(yīng)用:幾何精度檢測(cè)。精密儀器激光干涉儀哪個(gè)牌子好
激光干涉儀是精度比較高的線性位移測(cè)量?jī)x器,其光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義,可溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。但是我們?cè)谑褂弥型鶗?huì)出現(xiàn)檢測(cè)偏離值,偏離我們的預(yù)估,以至于在高精度檢測(cè)時(shí),對(duì)設(shè)備產(chǎn)生懷疑。因測(cè)量光學(xué)鏡組的安裝高度不在被測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)軸上引起的測(cè)量誤差稱之為阿貝誤差。產(chǎn)生的原因是設(shè)備移動(dòng)時(shí)存在俯仰、扭擺差,因此光學(xué)鏡組與運(yùn)動(dòng)軸偏置距離越遠(yuǎn),引起的阿貝誤差越大。環(huán)境補(bǔ)償單元能準(zhǔn)確采集空氣溫度、壓力、相對(duì)濕度信息,基于Edlen公式計(jì)算空氣折射率,以此對(duì)激光波長(zhǎng)進(jìn)行補(bǔ)償。深圳精密儀器校準(zhǔn)激光干涉儀加工生產(chǎn)激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對(duì)的測(cè)量精度有著重要的影響。
數(shù)控機(jī)床設(shè)備在維修維?;驒C(jī)床設(shè)備大修之后,使用雷尼紹XL-80激光干涉儀來(lái)實(shí)現(xiàn)線性數(shù)控軸直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量,把檢測(cè)的數(shù)據(jù)值通過(guò)數(shù)控系統(tǒng)參數(shù)補(bǔ)償進(jìn)入數(shù)控系統(tǒng),利用數(shù)控系統(tǒng)消除數(shù)控軸的正常磨損誤差,利用球桿儀檢測(cè)數(shù)控軸聯(lián)動(dòng)加工的真圓度,不但可以提高相關(guān)聯(lián)的幾個(gè)數(shù)控軸聯(lián)動(dòng)加工的精度等級(jí),還保證了數(shù)控軸的精度、延長(zhǎng)數(shù)控軸的壽命。保證數(shù)控機(jī)床更高的定位精度、更小的公差及更高的進(jìn)給率。它是一種精密測(cè)量?jī)x器,對(duì)數(shù)控機(jī)床設(shè)備進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)。雷尼紹激光干涉儀為機(jī)床檢定提供一種高精度標(biāo)準(zhǔn),它具備自動(dòng)線性誤差補(bǔ)償功能,可以方便恢復(fù)機(jī)床精度。
激光干涉儀使用技巧;Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法:用激光干涉儀進(jìn)行線性測(cè)量時(shí),Z軸測(cè)量時(shí)激光光路的準(zhǔn)直相對(duì)X、Y軸準(zhǔn)直來(lái)說(shuō),要困難的多。尤其是在Z軸距離較長(zhǎng)的情況下,要保證激光光束經(jīng)反射鏡反射后回到激先探測(cè)器的強(qiáng)度滿足測(cè)量對(duì)對(duì)光強(qiáng)的要求,準(zhǔn)直激光光路往往需要很長(zhǎng)時(shí)間。Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽,正對(duì)Z軸放置分光鏡,左右移開Z軸,觀察激光光路,保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶),激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具。
激光干涉儀的應(yīng)用:1、幾何精度檢測(cè)可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可蕞大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到蕞佳精度,另外操作者無(wú)需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。3、數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量,其精度達(dá)±1。比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。激光干涉儀在實(shí)際使用中,需要確認(rèn)其在各個(gè)測(cè)量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實(shí)精度水平以確保測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。數(shù)控軸平面度激光干涉儀廠商
激光干涉儀的維護(hù):儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)。精密儀器激光干涉儀哪個(gè)牌子好
激光干涉儀以光波為載體,具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、比較高測(cè)速下分辨率高等特點(diǎn),其光波波長(zhǎng)可直接對(duì)米進(jìn)行定義并溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。因此,激光干涉儀普遍應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、PCB鉆孔機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器等精密儀器的質(zhì)量控制與校準(zhǔn)以及科研開發(fā)、設(shè)備制造等領(lǐng)域。激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件的配合下,激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析。精密儀器激光干涉儀哪個(gè)牌子好